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潔凈室之于研發(fā)新產(chǎn)品、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量都起著舉足輕重的作用。這也是現(xiàn)在光學(xué)微電子、醫(yī)療器械、LED/液晶/線路板制造、醫(yī)療手術(shù)室、電鍍/噴涂塑料化工制品、生物制藥、食品飲料、光伏新能源、潔凈實(shí)驗(yàn)室、汽車(chē)/航空等等行業(yè)都依賴潔凈室的原因。潔凈室最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。 晶圓車(chē)間對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。CEIDI西遞設(shè)計(jì)師常規(guī)也會(huì)采用FAB布局設(shè)計(jì)。

越是大的從事晶圓生產(chǎn)的企業(yè)對(duì)整個(gè)工廠自動(dòng)化、智能化程度要求越高，所以對(duì)半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)車(chē)間的設(shè)計(jì)師來(lái)說(shuō)，動(dòng)輒幾百億投資的晶圓廠區(qū)做怎樣的合理規(guī)劃、系統(tǒng)架設(shè)以提高整個(gè)潔凈工廠的空間利用率、減少機(jī)臺(tái)的閑置時(shí)間、提升產(chǎn)品的良率是他們?cè)O(shè)計(jì)的重中之重。當(dāng)然這些內(nèi)容也是工廠設(shè)計(jì)定稿前需要與廠家重點(diǎn)探討研究的問(wèn)題。大多數(shù)FBA工廠都是四層結(jié)構(gòu)，從上至下分別為：上技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層，潔凈下技術(shù)夾層和非潔凈下技術(shù)夾層。

設(shè)計(jì)指標(biāo)及參數(shù)要點(diǎn)：

1. 因其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的恒溫恒濕溫控制要求很高（溫度控制在22℃±1℃，相對(duì)濕度控制在43%±3%）；

2. 生產(chǎn)大環(huán)境的空氣潔凈等級(jí)為千級(jí)（ISO 6級(jí)）；

3. 光刻等特殊區(qū)域的空氣凈化等級(jí)十級(jí)（ISO 4級(jí)）；

4. 規(guī)范要求空氣凈化等級(jí)（ISO 1-4級(jí)）的凈化室采用垂直層流：上技術(shù)夾層（送風(fēng)靜壓箱）中的空氣通過(guò)FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組）輸送至潔凈生產(chǎn)層，氣流通過(guò)高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術(shù)夾層，再經(jīng)過(guò)回風(fēng)夾道中的DCC(干冷盤(pán)管)回到上技術(shù)夾層，循環(huán)往復(fù)。

此外Fab工廠會(huì)使用大量的易燃易爆、毒性化學(xué)品，且種類繁多，因此設(shè)計(jì)師在設(shè)計(jì)過(guò)程中要格外注意根據(jù)規(guī)范設(shè)計(jì)甲乙類氣體、危險(xiǎn)化學(xué)品，甚至惰性氣體的存放和分配間應(yīng)靠外墻布置，且酸性，堿性，有機(jī)類化學(xué)品存放收集間相對(duì)應(yīng)的室外還應(yīng)預(yù)留足夠的槽罐車(chē)裝卸場(chǎng)地面積。消防設(shè)計(jì)作為Fab工廠設(shè)計(jì)的難點(diǎn)和痛點(diǎn)，設(shè)計(jì)師要在防火分區(qū)設(shè)計(jì)、防泄爆設(shè)計(jì)、專用消防口的設(shè)置工作中投入大量精力?！豆杓呻娐沸酒S設(shè)計(jì)規(guī)范》、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》這四大規(guī)范作為晶圓車(chē)間設(shè)計(jì)的主要規(guī)范，每位設(shè)計(jì)師需研究透徹并作為設(shè)計(jì)依據(jù)加以實(shí)踐。

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