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文章出處：技術(shù)支持|閱讀量：1980|發(fā)表時(shí)間：2022-06-07
近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體、顯示面板等微電子行業(yè)的發(fā)展，潔凈室廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)車間及實(shí)驗(yàn)室里，越來(lái)越多生產(chǎn)工藝工程師、工程技術(shù)人員也接觸并認(rèn)識(shí)了潔凈室。潔凈室技術(shù)是以生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)為主要目的。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造按照其制造技術(shù)可以分為：集成電路器件、分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等大類，如若細(xì)分還會(huì)有更多的分類方式。半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴(yán)，其涉及數(shù)百個(gè)制造工序，由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性，為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命，對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所的環(huán)境，如溫度、濕度，壓力、通排風(fēng)量、潔凈度等都有嚴(yán)格要求。>>>商務(wù)洽談，點(diǎn)此處，在線咨詢
半導(dǎo)體集成電路芯片生產(chǎn)廠房在工業(yè)建筑中屬潔凈建筑,相對(duì)其它工業(yè)建筑它的內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)難度較大。集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中工藝流程一般會(huì)出現(xiàn)多次交叉反復(fù)。像芯片生產(chǎn)過(guò)程中的光刻、腐蝕、擴(kuò)散、蒸發(fā)、表面純化等,工藝流程上都會(huì)往復(fù)交叉頻繁。在設(shè)計(jì)上要求空間的潔凈度對(duì)各工序均滿足生產(chǎn)要求。對(duì)此類車間比較常用的手法是吸取國(guó)外的先進(jìn)經(jīng)驗(yàn)。像芯片生產(chǎn)工序廠房整個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級(jí)均按100級(jí)設(shè)計(jì),個(gè)別10級(jí)區(qū)域只需要用設(shè)備手段解決，不用專門設(shè)置這個(gè)潔凈級(jí)別的潔凈室。其他工序生產(chǎn)環(huán)境要求隨生產(chǎn)工藝而定，潔凈度的要求也并不是越高越好，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。各中取舍指導(dǎo)項(xiàng)目需求方可以參照CEIDI西遞設(shè)計(jì)師的建議綜合。
一般在達(dá)到百級(jí)的半導(dǎo)體潔凈室平面裝修方案中，設(shè)計(jì)師會(huì)依然會(huì)和千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等潔凈標(biāo)準(zhǔn)一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來(lái)做精確的平面布局和配套系統(tǒng)設(shè)計(jì)：
工作人員的凈化路線為：
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風(fēng)淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。
物品的凈化路線為:
入口→原料庫(kù)→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫(kù)。
按照兩種凈化路線，分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機(jī)房、超純水處理站可以安排在同一層，使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^(guò)技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機(jī)房、配電室、防排煙機(jī)房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求設(shè)置布局。
在配套系統(tǒng)技術(shù)層面，以暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局來(lái)說(shuō)，平面分區(qū)也要以下列內(nèi)容為參照依據(jù)：
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。
3、有條件時(shí)可將4級(jí)、5級(jí)單向流和6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。
7、混合后會(huì)產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
半導(dǎo)體車間的建設(shè)涉及的專業(yè)內(nèi)容很多，譬如在各種生產(chǎn)和封裝過(guò)程中建立起靜電防護(hù)系統(tǒng)也很有必要，像IC封裝生產(chǎn)線對(duì)靜電的更為嚴(yán)格。為了保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)行，CEID西遞這類潔凈廠房集成服務(wù)商還會(huì)對(duì)其建設(shè)的潔凈廠房進(jìn)行防靜電建設(shè)，當(dāng)中也會(huì)涉及很多專用材料的篩選、結(jié)構(gòu)維護(hù)工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺(tái)、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng)，如何讓這些系統(tǒng)更好的服務(wù)于每個(gè)車間，以達(dá)到半導(dǎo)體廠房整體既滿足工藝和產(chǎn)能需求，還盡可能地實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排要求，可以多借鑒CEIDI西遞的建設(shè)經(jīng)驗(yàn)。
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